| 题名 | 石墨及不锈钢衬底上低温沉积GaN薄膜的结晶特性研究 |
| 作者 | 段仲伟 |
| 答辩日期 | 2013 |
| 授予单位 | 大连理工大学 |
| 导师 | 林国强 ; 秦福文 |
| 关键词 | 等离子体增强 金属有机物化学气相沉积 低温沉积 石墨衬底 不锈钢衬底 氮化镓薄膜 结晶特性 |
| 学位名称 | 硕士 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 出处 | 大连理工大学 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4649142 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 段仲伟. 石墨及不锈钢衬底上低温沉积GaN薄膜的结晶特性研究[D]. 大连理工大学. 2013. |
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