| 双频容性耦合等离子体相分辨发射光谱诊断 | |
| 杜永权; 刘文耀; 朱爱民; 李小松; 赵天亮; 刘永新; 高飞; 徐勇; 王友年 | |
| 刊名 | 物理学报
 |
| 2013 | |
| 卷号 | 62页码:1-7 |
| 关键词 | 双频容性耦合等离子体 等离子体鞘层 发射光谱 |
| ISSN号 | 1000-3290 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4646231 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学等离子体物理化学实验室 2.大连理工大学物理与光电工程学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杜永权,刘文耀,朱爱民,等. 双频容性耦合等离子体相分辨发射光谱诊断[J]. 物理学报,2013,62:1-7. |
| APA | 杜永权.,刘文耀.,朱爱民.,李小松.,赵天亮.,...&王友年.(2013).双频容性耦合等离子体相分辨发射光谱诊断.物理学报,62,1-7. |
| MLA | 杜永权,et al."双频容性耦合等离子体相分辨发射光谱诊断".物理学报 62(2013):1-7. |
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