| 射频磁控Ar/O_2混合等离子体PIC/MCC模拟 | |
| 刘岳; 张权治; 王友年 | |
| 2013 | |
| 会议名称 | 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会 |
| 会议日期 | 2013-08-15 |
| 会议地点 | 中国上海 |
| 关键词 | Ar/O_2 PIC/MCC 薄膜沉积 材料薄膜 工艺气体 靶材 离子密度 薄膜材料 电子密度 自偏压 |
| 页码 | 1 |
| 会议录 | 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4644943 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学 物理与光电工程学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘岳,张权治,王友年. 射频磁控Ar/O_2混合等离子体PIC/MCC模拟[C]. 见:第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会. 中国上海. 2013-08-15. |
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