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	用UV-LIGA工艺制备MEMS铜线圈
	杜立群; 徐志祥
刊名	光学精密工程
	2013
卷号	21页码:69-75
URL标识	查看原文
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4634720
专题	大连理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	杜立群,徐志祥. 用UV-LIGA工艺制备MEMS铜线圈[J]. 光学精密工程,2013,21:69-75.
APA	杜立群,&徐志祥.(2013).用UV-LIGA工艺制备MEMS铜线圈.光学精密工程,21,69-75.
MLA	杜立群,et al."用UV-LIGA工艺制备MEMS铜线圈".光学精密工程 21(2013):69-75.

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