| 复杂图案轮廓曝光版图的生成及工艺实现 | |
| 段辉高; 戴彭; 张轼; 陈艺勤; 石惠民; 林子豪; 周艳明 | |
| 刊名 | 光学精密工程
 |
| 2019 | |
| 卷号 | 第3期页码:584-593 |
| 关键词 | 跨尺度微纳制造 轮廓曝光 电子束曝光 边界追踪 |
| ISSN号 | 1004-924X |
| URL标识 | 查看原文 |
| 公开日期 | [db:dc_date_available] |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4601748 |
| 专题 | 湖南大学 |
| 作者单位 | 1.湖南大学机械与运载工程学院 2.湖南大学物理与微电子科学学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 段辉高,戴彭,张轼,等. 复杂图案轮廓曝光版图的生成及工艺实现[J]. 光学精密工程,2019,第3期:584-593. |
| APA | 段辉高.,戴彭.,张轼.,陈艺勤.,石惠民.,...&周艳明.(2019).复杂图案轮廓曝光版图的生成及工艺实现.光学精密工程,第3期,584-593. |
| MLA | 段辉高,et al."复杂图案轮廓曝光版图的生成及工艺实现".光学精密工程 第3期(2019):584-593. |
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