一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器

	一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器
	钱玉洁 ; 高理升 ; 王焕钦 ; 马以武 ; 孔德义 ; 熊剑平 ; 王英先 ; 张瑞
刊名	微纳电子技术
	2011
期号	3
学科主题	仿生感知与控制
公开日期	2012-07-13
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.hfcas.ac.cn/handle/334002/6756]
专题	合肥物质科学研究院_中科院合肥智能机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	钱玉洁,高理升,王焕钦,等. 一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器[J]. 微纳电子技术,2011(3).
APA	钱玉洁.,高理升.,王焕钦.,马以武.,孔德义.,...&张瑞.(2011).一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器.微纳电子技术(3).
MLA	钱玉洁,et al."一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器".微纳电子技术 .3(2011).