一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器 | |
钱玉洁 ; 高理升 ; 王焕钦 ; 马以武 ; 孔德义 ; 熊剑平 ; 王英先 ; 张瑞 | |
刊名 | 微纳电子技术
![]() |
2011 | |
期号 | 3 |
学科主题 | 仿生感知与控制 |
公开日期 | 2012-07-13 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn/handle/334002/6756] ![]() |
专题 | 合肥物质科学研究院_中科院合肥智能机械研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 钱玉洁,高理升,王焕钦,等. 一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器[J]. 微纳电子技术,2011(3). |
APA | 钱玉洁.,高理升.,王焕钦.,马以武.,孔德义.,...&张瑞.(2011).一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器.微纳电子技术(3). |
MLA | 钱玉洁,et al."一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器".微纳电子技术 .3(2011). |
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