CORC  > 山东大学
高回转精度多阶柱状微电极电化学高效制备试验研究
刘勇; 邓世辉
刊名光学精密工程
2018
卷号26期号:4页码:857-865
关键词多阶柱状微电极 加工效率 回转精度 电极旋转 加工电流
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公开日期[db:dc_date_available]
内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4574527
专题山东大学
作者单位1.山东大学力学与机电装备联合工程技术研究中心, 威海, 山东 264209, 中国.
2.山东大学力学与机电装备联合工程技术研究中心, 威海, 山东 264209, 中
推荐引用方式
GB/T 7714
刘勇,邓世辉. 高回转精度多阶柱状微电极电化学高效制备试验研究[J]. 光学精密工程,2018,26(4):857-865.
APA 刘勇,&邓世辉.(2018).高回转精度多阶柱状微电极电化学高效制备试验研究.光学精密工程,26(4),857-865.
MLA 刘勇,et al."高回转精度多阶柱状微电极电化学高效制备试验研究".光学精密工程 26.4(2018):857-865.
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