不同溅射条件对超薄外延氮化铌薄膜超导性能的影响 | |
汪潇涵; 何倩眉; 芦政; 金韬; 郑分刚; 熊杰; 邹贵付 | |
刊名 | 科学通报
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2019 | |
卷号 | 64期号:20页码:2127-2133 |
关键词 | 磁控溅射 外延生长 超薄薄膜 超导 氮化铌 |
DOI | 10.1360/N972019-00314 |
URL标识 | 查看原文 |
公开日期 | [db:dc_date_available] |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4551708 |
专题 | 山东大学 |
作者单位 | 1.苏州大学物理与科学技术学院 2.苏州大学能源学院, 3., 苏州 4.苏州, 5.215006 6.215006 7.苏州大学物理与科学技术学院 8.苏州大学能源学院, 9., 苏州 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 汪潇涵,何倩眉,芦政,等. 不同溅射条件对超薄外延氮化铌薄膜超导性能的影响[J]. 科学通报,2019,64(20):2127-2133. |
APA | 汪潇涵.,何倩眉.,芦政.,金韬.,郑分刚.,...&邹贵付.(2019).不同溅射条件对超薄外延氮化铌薄膜超导性能的影响.科学通报,64(20),2127-2133. |
MLA | 汪潇涵,et al."不同溅射条件对超薄外延氮化铌薄膜超导性能的影响".科学通报 64.20(2019):2127-2133. |
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