CORC  > 山东大学
不同溅射条件对超薄外延氮化铌薄膜超导性能的影响
汪潇涵; 何倩眉; 芦政; 金韬; 郑分刚; 熊杰; 邹贵付
刊名科学通报
2019
卷号64期号:20页码:2127-2133
关键词磁控溅射 外延生长 超薄薄膜 超导 氮化铌
DOI10.1360/N972019-00314
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公开日期[db:dc_date_available]
内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4551708
专题山东大学
作者单位1.苏州大学物理与科学技术学院
2.苏州大学能源学院,
3., 苏州
4.苏州,
5.215006
6.215006
7.苏州大学物理与科学技术学院
8.苏州大学能源学院,
9., 苏州
推荐引用方式
GB/T 7714
汪潇涵,何倩眉,芦政,等. 不同溅射条件对超薄外延氮化铌薄膜超导性能的影响[J]. 科学通报,2019,64(20):2127-2133.
APA 汪潇涵.,何倩眉.,芦政.,金韬.,郑分刚.,...&邹贵付.(2019).不同溅射条件对超薄外延氮化铌薄膜超导性能的影响.科学通报,64(20),2127-2133.
MLA 汪潇涵,et al."不同溅射条件对超薄外延氮化铌薄膜超导性能的影响".科学通报 64.20(2019):2127-2133.
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