| 脉冲放电等离子体参数的高时间分辨静电探针诊断技术 | |
| 张文兰; 陆文琪 | |
| 2013 | |
| 会议名称 | 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会论文集中国力学学会;中国物理学会;中国核学会 |
| 会议日期 | 2013-08-15 |
| 会议地点 | 上海 |
| 关键词 | 等离子体参数 脉冲放电 放电等离子体 材料表面改性 磁控溅射沉积 诊断技术 物理过程 起弧 时间分辨率 沉积速率 |
| 页码 | 186-186 |
| 会议录 | 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会论文集中国力学学会
 ; 中国物理学会
; 中国核学会
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4544157 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学物理与光电工程学院,三束材料改性教育部重点实验室 辽宁大连 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张文兰,陆文琪. 脉冲放电等离子体参数的高时间分辨静电探针诊断技术[C]. 见:第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会论文集中国力学学会;中国物理学会;中国核学会. 上海. 2013-08-15. |
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