| 外加会切磁场对感应耦合等离子体放电过程的影响 | |
| 王岩; 徐翔; 王友年 | |
| 2013 | |
| 会议名称 | 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会论文集中国力学学会;中国物理学会;中国核学会 |
| 会议日期 | 2013-08-15 |
| 会议地点 | 上海 |
| 关键词 | 会切 放电过程 感应耦合 磁约束 电子密度 电子温度 加工工艺 上底 离子密度 注入系统 |
| 页码 | 234-234 |
| 会议录 | 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会论文集中国力学学会
 ; 中国物理学会
; 中国核学会
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4544154 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学物理与光电工程学院,大连 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王岩,徐翔,王友年. 外加会切磁场对感应耦合等离子体放电过程的影响[C]. 见:第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会论文集中国力学学会;中国物理学会;中国核学会. 上海. 2013-08-15. |
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