| 双频容性耦合氧气放电中电子反弹共振加热 | |
| 刘永新; 张权治; 刘佳; 陆文琪; 王友年 | |
| 2013 | |
| 会议名称 | 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会论文集中国力学学会;中国物理学会;中国核学会 |
| 会议日期 | 2013-08-15 |
| 会议地点 | 上海 |
| 关键词 | 容性耦合 放电特性 聚合物膜 电动力学 光刻胶 微电子工业 能量分布 等离子体参数 电离过程 驱动频率 |
| 页码 | 322-322 |
| 会议录 | 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会论文集中国力学学会
 ; 中国物理学会
; 中国核学会
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4544104 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学物理与光电工程学院,大连 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘永新,张权治,刘佳,等. 双频容性耦合氧气放电中电子反弹共振加热[C]. 见:第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会论文集中国力学学会;中国物理学会;中国核学会. 上海. 2013-08-15. |
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