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	结构调制超硬Ti/TiN纳米多层膜的制备及其尺寸效应
	杨波波; 孙珲; 杨田林; 郑小龙; 徐涛; 李方正; 宋淑梅
刊名	材料研究学报
	2019
卷号	33期号:2页码:138-144
关键词	金属材料 纳米多层膜 多弧离子镀 小调制周期 超硬效应
DOI	10.11901/1005.3093.2018.343
URL标识	查看原文
公开日期	[db:dc_date_available]
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4540914
专题	山东大学
作者单位	1.山东大学空间科学与物理学院, 威海, 山东 264209, 中国 2.山东大学空间科学与物理学院, 威海, 山东 264209, 中国 3.山东大学(威海
推荐引用方式 GB/T 7714	杨波波,孙珲,杨田林,等. 结构调制超硬Ti/TiN纳米多层膜的制备及其尺寸效应[J]. 材料研究学报,2019,33(2):138-144.
APA	杨波波.,孙珲.,杨田林.,郑小龙.,徐涛.,...&宋淑梅.(2019).结构调制超硬Ti/TiN纳米多层膜的制备及其尺寸效应.材料研究学报,33(2),138-144.
MLA	杨波波,et al."结构调制超硬Ti/TiN纳米多层膜的制备及其尺寸效应".材料研究学报 33.2(2019):138-144.

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