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	一种超短脉冲激光烧蚀氮化硅的模拟计算方法
	吴东江; 姚龙元; 马广义; 牛方勇; 郭东明
	2013
权利人	大连理工大学
公开日期	2013-08-28
URL标识	查看原文
申请日期	2013-03-18
内容类型	专利
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4536011
专题	大连理工大学
作者单位	大连理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	吴东江,姚龙元,马广义,等. 一种超短脉冲激光烧蚀氮化硅的模拟计算方法. 2013-01-01.

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