题名 | 蓝宝石衬底上氧化镓薄膜的生长与退火研究 |
作者 | 冯艳彬 |
答辩日期 | 2014 |
授予单位 | 大连理工大学 |
导师 | 杜国同 |
关键词 | 氧化镓薄膜 透射率 热退火 金属有机物化学气相沉积 蓝宝石衬底 光学特性 |
学位名称 | 硕士 |
URL标识 | 查看原文 |
出处 | 大连理工大学 |
内容类型 | 学位论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4523102 |
专题 | 大连理工大学 |
作者单位 | 大连理工大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯艳彬. 蓝宝石衬底上氧化镓薄膜的生长与退火研究[D]. 大连理工大学. 2014. |
个性服务 |
查看访问统计 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论