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	Nanoimprint lithography: Principles, processes and materials
	Lan, Hongbo; Ding, Yucheng; Liu, Hongzhong
出版者	Nanoimprint Lithography: Principles, Processes and Materials
关键词	Fabrication process Half pitches High throughput technology Low costs Next generation lithography Optical projections
DOI标识	[db:dc_identifier_doi]
URL标识	查看原文
内容类型	专著
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4487788
专题	西安交通大学
推荐引用方式 GB/T 7714	Lan, Hongbo,Ding, Yucheng,Liu, Hongzhong. Nanoimprint lithography: Principles, processes and materials[M]:Nanoimprint Lithography: Principles, Processes and Materials.

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