高保真度压印光刻图形质量研究 | |
严乐; 卢秉恒 | |
刊名 | 北京信息科技大学学报(自然科学版)
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2012 | |
期号 | [db:dc_citation_issue]页码:31-34 |
关键词 | 压印工艺 压印光刻 热误差 高保真度 模具 |
ISSN号 | 1674-6864 |
DOI | [db:dc_identifier_doi] |
URL标识 | 查看原文 |
WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4461895 |
专题 | 西安交通大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 严乐,卢秉恒. 高保真度压印光刻图形质量研究[J]. 北京信息科技大学学报(自然科学版),2012([db:dc_citation_issue]):31-34. |
APA | 严乐,&卢秉恒.(2012).高保真度压印光刻图形质量研究.北京信息科技大学学报(自然科学版)([db:dc_citation_issue]),31-34. |
MLA | 严乐,et al."高保真度压印光刻图形质量研究".北京信息科技大学学报(自然科学版) .[db:dc_citation_issue](2012):31-34. |
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