| 高保真度压印光刻图形质量研究 | |
| 严乐; 卢秉恒 | |
| 刊名 | 北京信息科技大学学报（自然科学版）
 |
| 2012 | |
| 期号 | [db:dc_citation_issue]页码:31-34 |
| 关键词 | 压印工艺 压印光刻 热误差 高保真度 模具 |
| ISSN号 | 1674-6864 |
| DOI | [db:dc_identifier_doi] |
| URL标识 | 查看原文 |
| WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4461895 |
| 专题 | 西安交通大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 严乐,卢秉恒. 高保真度压印光刻图形质量研究[J]. 北京信息科技大学学报（自然科学版）,2012([db:dc_citation_issue]):31-34. |
| APA | 严乐,&卢秉恒.(2012).高保真度压印光刻图形质量研究.北京信息科技大学学报（自然科学版）([db:dc_citation_issue]),31-34. |
| MLA | 严乐,et al."高保真度压印光刻图形质量研究".北京信息科技大学学报（自然科学版） .[db:dc_citation_issue](2012):31-34. |
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