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	斜梁结构高温度稳定性MEMS自由梁谐振器设计
	雷飞[1]; 杨恢东[1,2]; 李姗[1]; 顾龙[1]; 汪文明[1]
	2014
卷号	34期号:5页码:486
关键词	谐振器 温度稳定性 水平位移 动态阻抗
URL标识	查看原文
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4460686
专题	暨南大学
作者单位	1.[1]暨南大学信息与科学技术学院,广州510632 2.[2]浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州310027
推荐引用方式 GB/T 7714	雷飞[1],杨恢东[1,2],李姗[1],等. 斜梁结构高温度稳定性MEMS自由梁谐振器设计[J],2014,34(5):486.
APA	雷飞[1],杨恢东[1,2],李姗[1],顾龙[1],&汪文明[1].(2014).斜梁结构高温度稳定性MEMS自由梁谐振器设计.,34(5),486.
MLA	雷飞[1],et al."斜梁结构高温度稳定性MEMS自由梁谐振器设计".34.5(2014):486.

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