| 题名 | Al/Al2O3结构微腔等离子体器件的制备及其特性研究 |
| 作者 | 海云波 |
| 答辩日期 | 2013 |
| 导师 | 梁志虎 |
| 关键词 | 微等离子体器件制备工艺结构设计光电特性 |
| 学位名称 | 工学硕士 |
| WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
| DOI标识 | [db:dc_identifier_doi] |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4434552 |
| 专题 | 西安交通大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 海云波. Al/Al2O3结构微腔等离子体器件的制备及其特性研究[D]. 2013. |
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