立方氮化硼薄膜的制备及研究 | |
王明娥; 马国佳; 董闯 | |
刊名 | 真空科学与技术学报 |
2014 | |
卷号 | 34页码:950-955 |
关键词 | 立方氮化硼薄膜 B-C-N过渡层 应力 X射线光电子能谱 |
ISSN号 | 1672-7126 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4424147 |
专题 | 大连理工大学 |
作者单位 | 1.大连理工大学材料科学与工程学院 大连 116024 2.大连理工大学材料科学与工程学院 大连 116024 3.北京航空制造工程研究所高能束流加工技术重点实验室 北京 100024 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王明娥,马国佳,董闯. 立方氮化硼薄膜的制备及研究[J]. 真空科学与技术学报,2014,34:950-955. |
APA | 王明娥,马国佳,&董闯.(2014).立方氮化硼薄膜的制备及研究.真空科学与技术学报,34,950-955. |
MLA | 王明娥,et al."立方氮化硼薄膜的制备及研究".真空科学与技术学报 34(2014):950-955. |
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