CORC  > 大连理工大学
立方氮化硼薄膜的制备及研究
王明娥; 马国佳; 董闯
刊名真空科学与技术学报
2014
卷号34页码:950-955
关键词立方氮化硼薄膜 B-C-N过渡层 应力 X射线光电子能谱
ISSN号1672-7126
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4424147
专题大连理工大学
作者单位1.大连理工大学材料科学与工程学院 大连 116024
2.大连理工大学材料科学与工程学院 大连 116024
3.北京航空制造工程研究所高能束流加工技术重点实验室 北京 100024
推荐引用方式
GB/T 7714
王明娥,马国佳,董闯. 立方氮化硼薄膜的制备及研究[J]. 真空科学与技术学报,2014,34:950-955.
APA 王明娥,马国佳,&董闯.(2014).立方氮化硼薄膜的制备及研究.真空科学与技术学报,34,950-955.
MLA 王明娥,et al."立方氮化硼薄膜的制备及研究".真空科学与技术学报 34(2014):950-955.
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