CORC  > 大连理工大学
基于CMOS工艺钨微测辐射热计阵列集成芯片的设计与制作
申宁; 余隽; 唐祯安
刊名传感技术学报
2014
卷号27页码:725-729
关键词CMOS红外探测器 钨微测辐射热计 表面牺牲层技术 低成本红外探测器 红外焦平面阵列
ISSN号1004-1699
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4423218
专题大连理工大学
作者单位大连理工大学电子科学与技术学院,辽宁 大连,116023
推荐引用方式
GB/T 7714
申宁,余隽,唐祯安. 基于CMOS工艺钨微测辐射热计阵列集成芯片的设计与制作[J]. 传感技术学报,2014,27:725-729.
APA 申宁,余隽,&唐祯安.(2014).基于CMOS工艺钨微测辐射热计阵列集成芯片的设计与制作.传感技术学报,27,725-729.
MLA 申宁,et al."基于CMOS工艺钨微测辐射热计阵列集成芯片的设计与制作".传感技术学报 27(2014):725-729.
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