| 题名 | 激光多普勒外差干涉法面形测量 |
| 作者 | 陈锦雄 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 1989 |
| 授予单位 | 中国科学院长春光学精密机械研究所 |
| 授予地点 | 中国科学院长春光学精密机械研究所 |
| 导师 | 冯家璋 |
| 中文摘要 | 本文分析了面形测量各种方法的优缺点，提出了激光多普勒外差法用于面形等测量。测量装置结构简单，成本较低，精度较高，能适应不同波长的测量。本文比较了两种多普勒移频器的优缺点。鉴于多普勒外差信号的特殊性，本文采用同步比相等信号处理方法。设计并制作了以同步相位计为主的包括信号处理器、A／D，接口等在内的电子线路。保证了我们的继续的多普勒外差信号的处理与连续外差信号的处理一样方便。我们还编制了微机控制、数据采集及处理、绘图等程序。使整个测量过程在微机的控制下自动进行。我们还用压电陶瓷作了微小位移测量的验证。测量了探测器线陈的相位延迟特性。得到λ／（200）的重复精度。本文对装置的测试精度作了详细的分析。在较好的情况下能得到几个A的精度。我们还提出了本方法在多波长测长。非线性材料参数测量、微小位移和微小角度测量等方面的应用方案。提出了测长的新光路。推导了各应用的公式及某些精度分析。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-21 |
| 页码 | 69 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/2265]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈锦雄. 激光多普勒外差干涉法面形测量[D]. 中国科学院长春光学精密机械研究所. 中国科学院长春光学精密机械研究所. 1989. |
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