| 题名 | 光纤点衍射干涉仪数据处理与系统标定 |
| 作者 | 曹晓君 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2003 |
| 授予单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 授予地点 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 导师 | 张学军 |
| 关键词 | 点衍射 光纤 压电陶瓷 位相展开 |
| 其他题名 | Data processing and system calibration on fiber point diffraction interferometer |
| 学位专业 | 光学 |
| 中文摘要 | 点衍射干涉仪这一物理思想，早在1972年smartt和strong就已发明，由Smal-tt和steel做了进丫步发展，并成功的用于检测天文望远镜，它结构简单，对光源没有特殊要求，近年来，由于光纤制造工艺以及藕合技术的发展，单模光纤纤芯不断缩小，为光纤点衍射干涉仪得以发展提供了前提条件，该干涉仪由激光照明，除了检测会聚波前外，还可以用来检测反射凹球面，进而应用到单个面形的检测；另外，光纤点衍射干涉仪最大的优点是不需要标准镜，在干涉检测中，标准镜是检测精度受限的很大原因，光纤点衍射干涉仪能绕开这一难度，为进行高精度的光学检测提供了广阔的前景。光纤点衍射干涉仪是利用光纤产生标准的球面波，用压电陶瓷实现相移，用CCD来接收图像的检测凹面面形的仪器。本文从干涉仪的调整出发，论述了整个数据处理过程。首先，经光纤藕合输出调整得到干涉图，采用四步相移方法，控制干涉图位相变化，实现相移；数据处理过程中，考虑压电陶瓷的非线性影响，进行标定；对位相进行模式展开连续性处理，得到实际位相；用zemike多项式正交化方法分析，在离散点上处理数据，经VisualC++程序设计，得到多项式系数，计算出面形分布，同Zygo所得结果进行比较。取得了较好的实验结果。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-21 |
| 页码 | 51 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://159.226.165.120//handle/181722/1711]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曹晓君. 光纤点衍射干涉仪数据处理与系统标定[D]. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所. 2003. |
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