强CO_2激光辐照下离子注入Si反射率的动态干涉效应 | |
李元恒![]() | |
刊名 | 中国激光
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1982 | |
卷号 | 9期号:8页码:498-500,497 |
关键词 | 动态干涉 磷离子注入 反射率 非晶层 辐照 CO_2激光 非晶态 固相外延 HeNe激光 |
ISSN号 | 0258-7025 |
通讯作者 | 李元恒 |
中文摘要 | 本文从理论和实验研究了连续CO_2激光辐照下磷离子注入Si对He-Ne激光束反射率呈现的动态干涉效应。从反射强度随时间的变化看出,Si片离子注入层固相外延的速率在整个再结晶过程中是不均匀的。 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2009-08-03 ; 2010-08-20 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/38104] ![]() |
专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
通讯作者 | 李元恒 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李元恒. 强CO_2激光辐照下离子注入Si反射率的动态干涉效应[J]. 中国激光,1982,9(8):498-500,497. |
APA | 李元恒.(1982).强CO_2激光辐照下离子注入Si反射率的动态干涉效应.中国激光,9(8),498-500,497. |
MLA | 李元恒."强CO_2激光辐照下离子注入Si反射率的动态干涉效应".中国激光 9.8(1982):498-500,497. |
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