| 题名 | MOCVD计算机控制系统的设计与实现 |
| 作者 | 耿静 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2000 |
| 授予单位 | 中国科学院长春光学精密机械及物理研究所 |
| 授予地点 | 中国科学院长春光学精密机械及物理研究所 |
| 导师 | 王遵立 |
| 关键词 | 芯片 气相沉积 晶体生长 |
| 中文摘要 | MOCVD是金属有机化学气相沉积技术的简称，即通过MOCVD设备，在衬底上生长材料晶体的一种方法。用这种方法生长出来的晶体可用于各种芯片的制造。这是当前研制新型光电材料的重要方法之一。在生长晶体过程中，既要频繁调整某些气体的流量又要切换多种流路开关，这给手工操作带来了很大的难度及不便，使之较容易出错。另外，手工操作生长出来的晶体的均匀度也不十分理想。故而随着计算机应用的不断发展，我们在MOCVD系统中引入了计算机控制，实现了用微机控制MOCVD生长的全过程。本论文详细介绍了MOCVD计算机控制系统的设计及实现方法，重点论述了其中的软件设计与实现方法。第一章简要介绍了MOCVD技术、MOCVD设备的国内外现状以及我所自行组装的低压MOCVD系统的结构。第二章介绍了MOCVD计算机控制系统的总体设计。包括系统设计的意义和系统的功能需求。第三章介绍了MOCVD计算机控制系统的硬件设计方案。第四章和第五章详细介绍了MOCVD计算机控制系统的软件设计方案和实现方法。首先，采用Delphi3.0+嵌入式汇编+Windows的多线程机制，完成了通信程序和实时生长材料曲线图，使通讯率大大提高。其次，在数据库设计中，通过BDE (Borland 数据库引擎)，连接到FoxPro6.0中获取数据，并解决了程序执行中不能彻底删除数据库记录的问题。并充分利用Delphi3.0的强大的面向对象设计的功能，开发出了良好、直观、易于操作的用户界面。在论文的最后，总结了本系统的几个重要特点，它将为将来功能更为完善的MOCVD系统设计计算机控制打下良好的基础。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-21 |
| 页码 | 63 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/1347]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 耿静. MOCVD计算机控制系统的设计与实现[D]. 中国科学院长春光学精密机械及物理研究所. 中国科学院长春光学精密机械及物理研究所. 2000. |
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