Parylene C在压电喷头中的应用研究 | |
鲁伯林; 智利莎; 柳永丽; 邹赫麟 | |
刊名 | 机电技术
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2015 | |
页码 | 117-120,126 |
关键词 | Parylene C 图形化刻蚀 压电喷头 结合强度 |
ISSN号 | 1672-4801 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4399274 |
专题 | 大连理工大学 |
作者单位 | 大连理工大学机械工程学院,辽宁大连,116024 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 鲁伯林,智利莎,柳永丽,等. Parylene C在压电喷头中的应用研究[J]. 机电技术,2015:117-120,126. |
APA | 鲁伯林,智利莎,柳永丽,&邹赫麟.(2015).Parylene C在压电喷头中的应用研究.机电技术,117-120,126. |
MLA | 鲁伯林,et al."Parylene C在压电喷头中的应用研究".机电技术 (2015):117-120,126. |
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