| 题名 | 基于慢正电子束流技术制备SiO/_2薄膜的应用 |
| 作者 | 张子良 |
| 答辩日期 | 2010 |
| 导师 | 侯新生 ; 成都理工大学|王宝义 ; 成都理工大学 |
| 关键词 | SiO/_2薄膜 电辅助自组装 磁控溅射 溶胶-凝胶 慢正电子束流 |
| 学位名称 | 硕士 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4398686 |
| 专题 | 成都理工大学 |
| 作者单位 | [1]成都理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张子良. 基于慢正电子束流技术制备SiO/_2薄膜的应用[D]. 2010. |
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