| 题名 | 三维集成有机波导光开关的研究 |
| 作者 | 孔光明 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2008-12-16 |
| 授予单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理所 |
| 授予地点 | 长春光学精密机械与物理所 |
| 导师 | 鄂书林 |
| 关键词 | 光开关 三维集成 有机波导 光束传播法 光刻 |
| 其他题名 | Studies on Three-Dimensional Integrated Organic Waveguide Optical Switch |
| 学位专业 | 光学 |
| 中文摘要 | 光开关作为全光网络的核心元件，其技术水平决定着光通信网络的性能。三维集成有机波导光开关不仅可以拓展光波导回路的功能并提高器件的集成度，而且成本低廉、制作工艺简单，因而具有很大的发展潜力。 本论文对三维集成有机波导光开关的工作机理进行了研究，并完成了器件的设计、制作及相关性能参数的测试工作，主要内容如下： （1）采用三维垂直耦合结构进行器件的设计。首先利用光束传播法分析并设计了波导光开关，然后通过模拟计算确定了聚合物材料组合并对器件结构参数进行了优化，结合器件制作的精度和实际要求，确定了具体的优化参数值。模拟结果表明：在开启状态下，光开关的消光比最高为32dB，并且在C波段，其消光比与波长的相关性较小。 （2）根据聚合物材料的特性，深入细致地研究了器件的制作工艺，并设计了工艺流程，采用标准光刻工艺完成了器件的制作，相关工作申报了国家发明专利。对制备得到的波导和器件形貌进行了表征，分析了实验过程中遇到的问题并提出了相应的解决方案。 （3）测试了所制作的聚合物波导及光开关器件。结果表明：所制作的SU-8 2005聚合物波导形貌良好，传输损耗较低；器件通光性能良好，实现了开关的功能，并且开关功率低于40mW，器件的性能参数达到了设计要求。最后还对器件的封装方法和工艺进行了研究。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-21 |
| 页码 | 102 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/1095]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孔光明. 三维集成有机波导光开关的研究[D]. 长春光学精密机械与物理所. 中国科学院长春光学精密机械与物理所. 2008. |
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