题名 | SiC MOS器件界面特性的ECR等离子体SiC表面改性研究 |
作者 | 刘冰冰 |
答辩日期 | 2016 |
授予单位 | 大连理工大学 |
导师 | 王德君 |
关键词 | 金属氧化物半导体器件 界面特性 电子回旋共振微波等离子体 表面钝化 碳化硅 欧姆特性 |
学位名称 | 博士 |
URL标识 | 查看原文 |
出处 | 大连理工大学 |
内容类型 | 学位论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4394478 |
专题 | 大连理工大学 |
作者单位 | 大连理工大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘冰冰. SiC MOS器件界面特性的ECR等离子体SiC表面改性研究[D]. 大连理工大学. 2016. |
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