题名 | 基于模糊神经网络的晶圆清洗机过滤器建模 |
作者 | 杨光 |
答辩日期 | 2016 |
授予单位 | 大连理工大学 |
导师 | 王宏伟 |
关键词 | 半导体器件 晶圆清洗机 过滤器 流量预测 模糊神经网络 |
学位名称 | 硕士 |
URL标识 | 查看原文 |
出处 | 大连理工大学 |
内容类型 | 学位论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4392189 |
专题 | 大连理工大学 |
作者单位 | 大连理工大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨光. 基于模糊神经网络的晶圆清洗机过滤器建模[D]. 大连理工大学. 2016. |
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