CORC  > 大连理工大学
题名多主元(AlCrWTaTiNb)CxNy复合薄膜的制备及性能
作者吕春飞
答辩日期2016
授予单位大连理工大学
关键词复合薄膜 显微硬度 耐磨性 表面形貌 多主元高熵合金 多靶磁控溅射
学位名称硕士
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出处大连理工大学
内容类型学位论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4383985
专题大连理工大学
作者单位大连理工大学
推荐引用方式
GB/T 7714
吕春飞. 多主元(AlCrWTaTiNb)CxNy复合薄膜的制备及性能[D]. 大连理工大学. 2016.
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