微纳器件中近场热辐射现象的特性分析 | |
冯冲; 唐祯安; 余隽; 张俊星; 马彪; 施展 | |
2016 | |
会议名称 | 第十四届全国敏感元件与传感器学术会议论文集中国仪器仪表学会;中国电子学会;中国航空学会;中国生物工程学会 |
会议日期 | 2016-10-14 |
会议地点 | 成都 |
关键词 | 微纳器件 二氧化硅 悬空薄膜结构 近场热辐射 |
页码 | 125-129 |
会议录 | 第十四届全国敏感元件与传感器学术会议论文集中国仪器仪表学会
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URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 会议论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4373405 |
专题 | 大连理工大学 |
作者单位 | 1.大连民族大学,辽宁大连116600 2.大连理工大学,辽宁大连116024 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯冲,唐祯安,余隽,等. 微纳器件中近场热辐射现象的特性分析[C]. 见:第十四届全国敏感元件与传感器学术会议论文集中国仪器仪表学会;中国电子学会;中国航空学会;中国生物工程学会. 成都. 2016-10-14. |
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