CORC  > 大连理工大学
Ti稳定N的三元Cu合金薄膜
李晓娜; 赵丽荣; 郑月红; 董闯
刊名稀有金属材料与工程
2016
卷号45页码:2366-2372
关键词Cu合金 薄膜 磁控溅射 硬度 电阻率
ISSN号1002-185X
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4369680
专题大连理工大学
作者单位1.大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室
2.大连理工常州研究院有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
李晓娜,赵丽荣,郑月红,等. Ti稳定N的三元Cu合金薄膜[J]. 稀有金属材料与工程,2016,45:2366-2372.
APA 李晓娜,赵丽荣,郑月红,&董闯.(2016).Ti稳定N的三元Cu合金薄膜.稀有金属材料与工程,45,2366-2372.
MLA 李晓娜,et al."Ti稳定N的三元Cu合金薄膜".稀有金属材料与工程 45(2016):2366-2372.
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