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	一种铝硼母合金掺杂制备多晶硅靶材的铸造工艺
	李鹏廷; 任世强; 谭毅; 王凯; 姜大川
	2016
权利人	大连理工大学
公开日期	2016-11-23
URL标识	查看原文
申请日期	2016-07-26
内容类型	专利
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4364190
专题	大连理工大学
作者单位	大连理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	李鹏廷,任世强,谭毅,等. 一种铝硼母合金掺杂制备多晶硅靶材的铸造工艺. 2016-01-01.

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