| 硅微机械结构的微电流型电化学气体传感器 | |
| 周仲柏; 吴青海; 刘炯权 | |
| 刊名 | 传感器技术
 |
| 1996 | |
| 关键词 | 微电流型电化学气体传感器件 薄膜微电极 硅一体化微电化学池硅微机械加工技术 |
| ISSN号 | 1000-9787 |
| DOI | 10.13873/j.1000-97871996.05.006 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 收录类别 | CSCD ; CNKI |
| 语种 | 其他 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4256578 |
| 专题 | 武汉大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 周仲柏,吴青海,刘炯权. 硅微机械结构的微电流型电化学气体传感器[J]. 传感器技术,1996. |
| APA | 周仲柏,吴青海,&刘炯权.(1996).硅微机械结构的微电流型电化学气体传感器.传感器技术. |
| MLA | 周仲柏,et al."硅微机械结构的微电流型电化学气体传感器".传感器技术 (1996). |
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