国外中空热阴极放电离子镀技术现状

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	国外中空热阴极放电离子镀技术现状
	王祥春
刊名	材料保护
	1982-04-01
期号	3 页码:28-38
关键词	涂层:6385 技术现状:5286 株式会社:2744 蒸发速度:2454 离子镀:2430 反应性:1623 硬度:1581 日本:1559 电子束:1478 密度:1433
中文摘要	<正> 一、前言中空热阴极离子镀技术是在中空热阴极离子电子束和离子镀技术的基础上发展起来的。1963年Moley最先建立了中空热阴极放电技术,并用于熔炼、焊接、热处理等。尔后日本真空株式会社将其发展成最大达2400千瓦的熔炼设备。离子镀技术是Mattox最先发展起来的,它将辉光放电技术与蒸发镀膜技术结合起来,大大提高了涂层的性能。1971年Chamber等发展成型枪电子束离子镀。1972年Bunshah等发展成所谓的活性反
公开日期	2012-04-12
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/29929]
专题	金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	王祥春. 国外中空热阴极放电离子镀技术现状[J]. 材料保护,1982(3):28-38.
APA	王祥春.(1982).国外中空热阴极放电离子镀技术现状.材料保护(3),28-38.
MLA	王祥春."国外中空热阴极放电离子镀技术现状".材料保护 .3(1982):28-38.