Investigation of machining mechanism of monocrystalline silicon in nanometric grinding | |
He, Liping; Zhu, Fulong; Liu, Yuhong; Liu, Sheng | |
刊名 | AIP ADVANCES
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2017 | |
卷号 | 7期号:5 |
ISSN号 | 2158-3226 |
DOI | 10.1063/1.4983216 |
URL标识 | 查看原文 |
收录类别 | SCIE ; EI |
语种 | 英语 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4088073 |
专题 | 武汉大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | He, Liping,Zhu, Fulong,Liu, Yuhong,et al. Investigation of machining mechanism of monocrystalline silicon in nanometric grinding[J]. AIP ADVANCES,2017,7(5). |
APA | He, Liping,Zhu, Fulong,Liu, Yuhong,&Liu, Sheng.(2017).Investigation of machining mechanism of monocrystalline silicon in nanometric grinding.AIP ADVANCES,7(5). |
MLA | He, Liping,et al."Investigation of machining mechanism of monocrystalline silicon in nanometric grinding".AIP ADVANCES 7.5(2017). |
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