Ti-N系薄膜结构研究的若干问题

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	Ti-N系薄膜结构研究的若干问题
	闻立时 ; 黄荣芳 ; 郭丽萍 ; 于宝海 ; 庄育智 ; Bangert
刊名	材料保护
	1992-03-01
期号	2 页码:24-30+3
关键词	薄膜组成结构性能
中文摘要	综述了Ti-N系薄膜结构研究的若干重要问题。着重讨论了δ-TiN的非化学计量性和物理气相沉积过程非平衡性对于Ti-N系膜相组成的影响。从耐磨应用考虑,ε-Ti_2N相或其复相涂层具有优势。透射电镜横截面试样研究阐明了Ti-N膜的分层精细结构,包括其各相的空间分布、择优取向、各层间的取向关系、晶粒度及界面反应层。论述了Ti底层的作用。研究了薄膜结构的一系列力学效应,例如离子轰击、合金化和多层化等引起的薄膜晶粒细化效应;晶粒细化和多层化导致的薄膜硬度增强和韧化,离子轰击追成的膜基界面强化等。上述结果对于改善Ti-N超硬膜性能,扩大其应用,均有重要作用。
公开日期	2012-04-12
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/28876]
专题	金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	闻立时,黄荣芳,郭丽萍,等. Ti-N系薄膜结构研究的若干问题[J]. 材料保护,1992(2):24-30+3.
APA	闻立时,黄荣芳,郭丽萍,于宝海,庄育智,&Bangert.(1992).Ti-N系薄膜结构研究的若干问题.材料保护(2),24-30+3.
MLA	闻立时,et al."Ti-N系薄膜结构研究的若干问题".材料保护 .2(1992):24-30+3.