Ti/TiN多层膜显微结构的研究

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	Ti/TiN多层膜显微结构的研究
	黄荣芳,郭丽萍,宫骏,于宝海,闻立时
刊名	硅酸盐学报
	1992-10-27
期号	5 页码:404-409
关键词	钛/氮化钛多层膜显微结构晶粒细化应
中文摘要	用透射电镜研究了Ti/TiN多层膜的显微形貌,并用X射线衍射与透射电镜的微束电子衍射相结合的方法获得多层膜的晶体结构、相组成及其空间分布的信息。证明了Ti/TiN多层膜有明显的分层结构,在每对相邻的Ti层和TiN层之间,均存在Ti_2N界面过渡层,在膜基界面处存在FeTi过渡层。多层膜的晶粒呈纤维状,其尺寸随单层厚度的降低而减小,此即多层膜的晶粒细化效应,它伴随着膜层硬度的增加。
公开日期	2012-04-12
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/28742]
专题	金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	黄荣芳,郭丽萍,宫骏,于宝海,闻立时. Ti/TiN多层膜显微结构的研究[J]. 硅酸盐学报,1992(5):404-409.
APA	黄荣芳,郭丽萍,宫骏,于宝海,闻立时.(1992).Ti/TiN多层膜显微结构的研究.硅酸盐学报(5),404-409.
MLA	黄荣芳,郭丽萍,宫骏,于宝海,闻立时."Ti/TiN多层膜显微结构的研究".硅酸盐学报 .5(1992):404-409.