陶瓷基材上金刚石薄膜的微观结构与界面研究

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	陶瓷基材上金刚石薄膜的微观结构与界面研究
	陈岩，戴吉岩，苏革，黄荣芳，闻立时，师昌绪
刊名	人工晶体学报
	1994-11-30
期号	4 页码:274-278
关键词	金刚石膜成核衬底缺陷界面显微结构化学气相沉积
中文摘要	用透射电子显微镜研究了用热丝法在Ｓｉ＿３Ｎ＿４－ＳｉＣ＿ｗ，ＡｌＮ陶瓷基材上生长的金刚石薄膜的显微结构和金刚石膜－基片界面。结果表明，金刚石膜内有大量的（１１１）孪晶，堆垛层错和位错。Ｓｉ＿３Ｎ＿４－ＳｉＣ＿ｗ基材上的金刚石膜的晶粒细小，有沿基材表面的条纹状的晶粒生长。界面研究表明ＡｌＮ基材上膜－基界面处有两种形核方式：无明显过渡层时，金刚石晶粒呈锥状生长，晶粒间留有孔洞；有界面过渡层时呈柱状生长。
公开日期	2012-04-12
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/28327]
专题	金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	陈岩，戴吉岩，苏革，黄荣芳，闻立时，师昌绪. 陶瓷基材上金刚石薄膜的微观结构与界面研究[J]. 人工晶体学报,1994(4):274-278.
APA	陈岩，戴吉岩，苏革，黄荣芳，闻立时，师昌绪.(1994).陶瓷基材上金刚石薄膜的微观结构与界面研究.人工晶体学报(4),274-278.
MLA	陈岩，戴吉岩，苏革，黄荣芳，闻立时，师昌绪."陶瓷基材上金刚石薄膜的微观结构与界面研究".人工晶体学报 .4(1994):274-278.