陶瓷基材上金刚石薄膜的微观结构与界面研究 | |
陈岩,戴吉岩,苏革,黄荣芳,闻立时,师昌绪 | |
刊名 | 人工晶体学报
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1994-11-30 | |
期号 | 4页码:274-278 |
关键词 | 金刚石膜 成核 衬底 缺陷 界面 显微结构 化学气相沉积 |
中文摘要 | 用透射电子显微镜研究了用热丝法在Si_3N_4-SiC_w,AlN陶瓷基材上生长的金刚石薄膜的显微结构和金刚石膜-基片界面。结果表明,金刚石膜内有大量的(111)孪晶,堆垛层错和位错。Si_3N_4-SiC_w基材上的金刚石膜的晶粒细小,有沿基材表面的条纹状的晶粒生长。界面研究表明AlN基材上膜-基界面处有两种形核方式:无明显过渡层时,金刚石晶粒呈锥状生长,晶粒间留有孔洞;有界面过渡层时呈柱状生长。 |
公开日期 | 2012-04-12 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/28327] ![]() |
专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈岩,戴吉岩,苏革,黄荣芳,闻立时,师昌绪. 陶瓷基材上金刚石薄膜的微观结构与界面研究[J]. 人工晶体学报,1994(4):274-278. |
APA | 陈岩,戴吉岩,苏革,黄荣芳,闻立时,师昌绪.(1994).陶瓷基材上金刚石薄膜的微观结构与界面研究.人工晶体学报(4),274-278. |
MLA | 陈岩,戴吉岩,苏革,黄荣芳,闻立时,师昌绪."陶瓷基材上金刚石薄膜的微观结构与界面研究".人工晶体学报 .4(1994):274-278. |
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