超薄铝膜电导特性的原位测量研究

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	超薄铝膜电导特性的原位测量研究
	唐兆麟，黄荣芳，闻立时
刊名	金属学报
	1996-03-18
期号	3 页码:308-312
关键词	超薄膜电导率尺寸效应
中文摘要	在真空室内原位测量了磁控溅射超薄铝膜的电阻率和薄膜厚度之间的关系以及各种工艺参数对其影响，薄膜的不同厚度阶段，具有不同的导电特性。分析表明：表面和晶界对传导电子的散射是构成薄膜电阻率尺寸效应的原因．
公开日期	2012-04-12
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/28059]
专题	金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	唐兆麟，黄荣芳，闻立时. 超薄铝膜电导特性的原位测量研究[J]. 金属学报,1996(3):308-312.
APA	唐兆麟，黄荣芳，闻立时.(1996).超薄铝膜电导特性的原位测量研究.金属学报(3),308-312.
MLA	唐兆麟，黄荣芳，闻立时."超薄铝膜电导特性的原位测量研究".金属学报 .3(1996):308-312.