强短脉冲辉光放电阴极溅射逐层分析研究

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	强短脉冲辉光放电阴极溅射逐层分析研究
	周振,苏永选,弓振斌,杨原,黄本立,任建世,马洪波,陈明,张功杼
刊名	分析科学学报
	1997-06-25
期号	2 页码:2-5
关键词	短脉冲供电辉光放电阴极溅射
中文摘要	利用强短脉冲供电电源和一种新型的辉光放电灯联用进行阴极表面溅射，发现它与在直流供电下有不同的结果．扫描电镜进行观察，得到样品溅射表面的扫描图。结果表明，该技术为金属或合金样品表面的逐层分析提供了一种新方法．
公开日期	2012-04-12
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/27851]
专题	金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	周振,苏永选,弓振斌,杨原,黄本立,任建世,马洪波,陈明,张功杼. 强短脉冲辉光放电阴极溅射逐层分析研究[J]. 分析科学学报,1997(2):2-5.
APA	周振,苏永选,弓振斌,杨原,黄本立,任建世,马洪波,陈明,张功杼.(1997).强短脉冲辉光放电阴极溅射逐层分析研究.分析科学学报(2),2-5.
MLA	周振,苏永选,弓振斌,杨原,黄本立,任建世,马洪波,陈明,张功杼."强短脉冲辉光放电阴极溅射逐层分析研究".分析科学学报 .2(1997):2-5.