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	MEMS Vertical Probe Cards with Both Line-arrayed and Area-arrayed Ultra-dense Metal Tips for Wafer-level IC Testin
	Fei Wang, Rong Cheng, Xinxin Li
	2007
会议名称	IEDM 2008:54thIEEE International Electron Device Meeting
会议日期	2007
页码	503-506
语种	英语
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/107663]
专题	上海微系统与信息技术研究所_传感技术联合国家重点实验室_会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	Fei Wang, Rong Cheng, Xinxin Li. MEMS Vertical Probe Cards with Both Line-arrayed and Area-arrayed Ultra-dense Metal Tips for Wafer-level IC Testin[C]. 见:IEDM 2008:54thIEEE International Electron Device Meeting. 2007.

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