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	A shielded cantilever-tip microwave probe for micro/nano surface imaging of conductive properties
	Yongliang Yang, Keji Lai2, Qiaochu Tang, Worasom Kundhikanjana2, Mike Kelly, Zhixun Shen, Xinxin Li
	2011
会议名称	IEEE MEMS 2011:the 24th IEEE Conference on Micro Electro mechanicsal Systems
会议日期	2011
页码	79-82
语种	英语
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/107655]
专题	上海微系统与信息技术研究所_传感技术联合国家重点实验室_会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	Yongliang Yang, Keji Lai2, Qiaochu Tang, Worasom Kundhikanjana2, Mike Kelly, Zhixun Shen, Xinxin Li. A shielded cantilever-tip microwave probe for micro/nano surface imaging of conductive properties[C]. 见:IEEE MEMS 2011:the 24th IEEE Conference on Micro Electro mechanicsal Systems. 2011.

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