基于集成参比电极的多参数水质监测微传感器阵列研制
张缓缓 ; 刘彬 ; 金庆辉 ; 刘咏松
刊名传感器与微系统
2011
期号10
关键词微机电系统技术 Ag/AgCl参比电极 集成微电极 水质监测
ISSN号1000-9787
中文摘要研究了一种基于MEMS工艺制备的集成微电极型传感器,并用电化学修饰方法将Ag/AgCl参比电极集成在传感器上,用于水体中温度、电导率和氧化还原电位的测定。Pt温度传感器的电阻与温度的线性关系良好,满足温度测量精度的需求;比较法确定电导率传感器的电极常数为2.723,可以对一般水体的电导率进行测定;氧化还原电位传感器的标准曲线斜率为0.99733接近于理论值,表明它可以准确表示水体的氧化还原电位值。
语种中文
公开日期2012-04-13
内容类型期刊论文
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/107022]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
张缓缓,刘彬,金庆辉,等. 基于集成参比电极的多参数水质监测微传感器阵列研制[J]. 传感器与微系统,2011(10).
APA 张缓缓,刘彬,金庆辉,&刘咏松.(2011).基于集成参比电极的多参数水质监测微传感器阵列研制.传感器与微系统(10).
MLA 张缓缓,et al."基于集成参比电极的多参数水质监测微传感器阵列研制".传感器与微系统 .10(2011).
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