低电压下静电力驱动的数字微流控芯片

CORC > 上海微系统与信息技术研究所 > 中文期刊、会议、专利、成果 > 期刊论文

	低电压下静电力驱动的数字微流控芯片
	刘翔 ; 皋华敏 ; 李铁 ; 周萍 ; 王跃林
刊名	光学精密工程
	2011
期号	01
关键词	微流控芯片液滴静电驱动低工作电压开放式结构
ISSN号	1004-924X
中文摘要	设计并制作了一种基于静电力驱动的数字微流控芯片,用于构建芯片实验室。介绍了静电力驱动原理和芯片制作工艺流程,搭建了驱动检测实验平台。该芯片采用硅作衬底,氧化硅作绝缘层,TiW/Au为驱动电极阵列,氮化硅作介质层,碳氟聚合物为疏水层。由于采用开放式的结构,只需单层共平面控制电极,简化了工艺流程,优化了器件结构;而驱动电极阵列嵌入在氧化硅中,改善了减小介质层厚度时介质层对金属的台阶覆盖性,减少了电极边沿突起引起的边界击穿。另外,采用较薄的高质量介质层和疏水性能好的疏水膜层,大大降低了液滴驱动电压。实验显示,在
语种	中文
公开日期	2012-04-13
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106979]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	刘翔,皋华敏,李铁,等. 低电压下静电力驱动的数字微流控芯片[J]. 光学精密工程,2011(01).
APA	刘翔,皋华敏,李铁,周萍,&王跃林.(2011).低电压下静电力驱动的数字微流控芯片.光学精密工程(01).
MLA	刘翔,et al."低电压下静电力驱动的数字微流控芯片".光学精密工程 .01(2011).