静电梳微振子结构和特性研究

	静电梳微振子结构和特性研究
	李平梁 ; 李碧洲 ; 赖宗声 ; 陆德仁 ; 王添平
刊名	传感技术学报
	1996
期号	04
关键词	K1 微振子静电梳驱动特性
ISSN号	1004-1699
其他题名	T1 静电梳微振子结构和特性研究
中文摘要	较系统地研究了静电梳驱动微振子的结构和工作原理,导出了微振子的谐振频率、品质因子及跨导等参数,以及相应的力学和电学模型,并研究了空气粘滞效应对品质因子的影响.在此基础上,设计出几种不同尺寸、不同形状的微型谐振子结构,并用表面微机械加工方法成功地制成了能横向振动的静电梳微振子.实测得到的谐振频率在7.5～9.0kHz范围内,在空气中品质因子为100左右,与理论计算能较好符合.
语种	中文
公开日期	2012-03-29
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106334]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所）
推荐引用方式 GB/T 7714	李平梁,李碧洲,赖宗声,等. 静电梳微振子结构和特性研究[J]. 传感技术学报,1996(04).
APA	李平梁,李碧洲,赖宗声,陆德仁,&王添平.(1996).静电梳微振子结构和特性研究.传感技术学报(04).
MLA	李平梁,et al."静电梳微振子结构和特性研究".传感技术学报 .04(1996).