关于Cu-Au合金溅射机制的研究

	关于Cu-Au合金溅射机制的研究
	王震遐 ; 朱福英 ; 陈文彪 ; 曹德新 ; 周祖尧 ; 张衡山 ; 张阿虎
刊名	核技术
	1986
期号	01
ISSN号	0253-3219
中文摘要	本文报道了用热中子活化法测量Cu-Au合金在80keV Ar~+离子不同剂量轰击下的部分溅射产额比S_Cu/S_Au,并用卢瑟福背散射(RBS)技术分析样品中元素的反冲以及表面层成分的相对变化,从而研究了元素择优溅射对表面层变化所起的作用。
公开日期	2012-03-29
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106008]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所）
推荐引用方式 GB/T 7714	王震遐,朱福英,陈文彪,等. 关于Cu-Au合金溅射机制的研究[J]. 核技术,1986(01).
APA	王震遐.,朱福英.,陈文彪.,曹德新.,周祖尧.,...&张阿虎.(1986).关于Cu-Au合金溅射机制的研究.核技术(01).
MLA	王震遐,et al."关于Cu-Au合金溅射机制的研究".核技术 .01(1986).