氢氦离子辐照对4H-SiC表面形貌的影响 | |
刘月; 郑智; 张伟平; 郑中成; 沈震宇; 郭立平 | |
刊名 | 武汉大学学报(理学版)
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2017 | |
期号 | 4 |
关键词 | 4H-SiC 离子辐照 氢氦协同作用 |
ISSN号 | 1671-8836 |
DOI | 10.14188/j.1671-8836.2017.04.010 |
URL标识 | 查看原文 |
收录类别 | CNKI |
语种 | 中文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3888229 |
专题 | 武汉大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘月,郑智,张伟平,等. 氢氦离子辐照对4H-SiC表面形貌的影响[J]. 武汉大学学报(理学版),2017(4). |
APA | 刘月,郑智,张伟平,郑中成,沈震宇,&郭立平.(2017).氢氦离子辐照对4H-SiC表面形貌的影响.武汉大学学报(理学版)(4). |
MLA | 刘月,et al."氢氦离子辐照对4H-SiC表面形貌的影响".武汉大学学报(理学版) .4(2017). |
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