元素溅射率与离子束入射角的关系

	元素溅射率与离子束入射角的关系
	陈国樑
刊名	核技术
	1987
期号	05
ISSN号	0253-3219
中文摘要	Yamamura指出:若能量为E的离子束倾斜轰击多晶元素靶,则原子相对溅射率y(θ)=Y(θ)/Y(0°)随离子束入射角θ变化的曲线可表示为含二个参数的经验公式:y(θ)=t~f·exp{g-(t-1)},t=secθ。其中,f和g是待定参数,其值由实验决定。g=f·cosθ_0,θ_0是元素溅射率Y(θ_0)达到最大值时的离子束最佳入射角。我们导出了离子束的最佳入射角拟合公式(8),并讨论了它的物理意义。因而,含二个参数的Yamamura经验公式(1)变成只含一个参数的原子相对溅射率公式(4)。其中,
公开日期	2012-03-29
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105454]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所）
推荐引用方式 GB/T 7714	陈国樑. 元素溅射率与离子束入射角的关系[J]. 核技术,1987(05).
APA	陈国樑.(1987).元素溅射率与离子束入射角的关系.核技术(05).
MLA	陈国樑."元素溅射率与离子束入射角的关系".核技术 .05(1987).