钛酸铋薄膜的室温脉冲激光沉积研究

CORC > 上海微系统与信息技术研究所 > 中文期刊、会议、专利、成果 > 期刊论文（冶金所）

	钛酸铋薄膜的室温脉冲激光沉积研究
	曾建明 ; 张苗 ; 高剑侠 ; 宋志棠 ; 郑立荣 ; 王连卫 ; 林成鲁
刊名	压电与声光
	1999
期号	02
ISSN号	1004-2474
中文摘要	在室温下，采用脉冲激光沉积（ＰＬＤ）技术在７．６２ｃｍＰｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ（１００）衬底上制备了钛酸铋（Ｂｉ４Ｔｉ３Ｏ１２）薄膜。Ｂｉ４Ｔｉ３Ｏ１２薄膜的厚度和组分均匀性采用卢瑟福背散射（ＲＢＳ）和扩展电阻技术（ＳＲＰ）来分析、表征；采用Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）技术研究了薄膜的退火特性。研究发现单独用常规退火或快速退火热处理的Ｂｉ４Ｔｉ３Ｏ１２薄膜中较容易出现Ｂｉ２Ｔｉ２Ｏ７杂相；而采用常规退火和快速退火相结合的方法，较好地解决了杂相出现的问题，得到相结构和结晶性完好的Ｂｉ４Ｔｉ３Ｏ１２薄膜。透射电子显
公开日期	2012-03-29
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104924]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所）
推荐引用方式 GB/T 7714	曾建明,张苗,高剑侠,等. 钛酸铋薄膜的室温脉冲激光沉积研究[J]. 压电与声光,1999(02).
APA	曾建明.,张苗.,高剑侠.,宋志棠.,郑立荣.,...&林成鲁.(1999).钛酸铋薄膜的室温脉冲激光沉积研究.压电与声光(02).
MLA	曾建明,et al."钛酸铋薄膜的室温脉冲激光沉积研究".压电与声光 .02(1999).